LithoDreamer：多阶段计算光刻的物理世界模型

随着半导体技术节点规模的扩大，计算光刻对于确保良率和性能至关重要。然而，光刻是一个连续的物理过程，涉及掩模优化、光学成像、抗蚀剂曝光和显影，现有模型无法捕捉到这一点。为了克服这一限制，我们提出了 LithoDreamer，这是第一个用于计算光刻的物理信息世界模型 (WM) 框架，它将“布局-掩模-抗蚀剂图像-开发后图像 (ADI)”管道制定为决策驱动的多步演化系统。 LithoDreamer 捕获相邻状态之间的特征变化，以对特定阶段的物理信息潜在空间进行建模，在其中控制过程干预探索并驱动后续状态转换。为了在没有持续监督的情况下实现可解释的干预优化，我们提出了一种对比变分优化范式，该范式将干预路径之间的潜在差异与变分演化约束进行对比，指导模型生成与真实光刻物理一致的演化。实验表明 LithoDreamer 在前向演化和逆向规划方面实现了最先进的性能。我们的光刻数据集可在 GitHub (https://github.com/7jianyq/lithodreamer.git) 上公开获取。